（一）、指极微细的物类；极微妙的事理。
《淮南子·本经训》：“夫至大，天地弗能含也；至微；神明弗能领也。”《史记·龟策列传》：“故推归之至微，要絜於精神也。” 明 方孝孺 《送太学赵孝先从军》诗序：“昭昭生於太阴，隆隆隐於至微。”
（二）、极卑微。
晋 李密 《陈情事表》：“今臣亡国贱俘，至微至陋。”
zhì wēi ㄓㄧˋ ㄨㄟ至微(1).指极微细的物类；极微妙的事理。《淮南子·本经训》：“夫至大，天地弗能含也；至微；神明弗能领也。”《史记·龟策列传》：“故推归之至微，要絜於精神也。” 明 方孝孺 《送太学赵孝先从军》诗序：“昭昭生於太阴，隆隆隐於至微。”(2).极卑微。 晋 李密 《陈情事表》：“今臣亡国贱俘，至微至陋。”
至 zhì（ㄓˋ）
（一）、到：至此。自始至终。从古至今。至于。以至。甚至。
（二）、极、最：至少。至亲。至交（最相好的朋友）。至诚。至高无上。至理名言。
微 wēi（ㄨㄟ）
（一）、小，细小：细微。轻微。微小。微型。微观。微雕。微积分。微电脑。微量元素。谨小慎微。微乎其微。
（二）、少；稍：稍微。微笑。微调（ tiáo ）。
（三）、衰落；低下：卑微。微贱。
（四）、精深；精妙：微妙。精微。微言大义。
（五）、隐约；不明：微茫。微词（隐晦的批评）。
（六）、隐匿：“白公奔山而缢，其徒微亡”。
（七）、暗中察访：微行。
（八）、无，非：“微斯人，吾谁与归”。
（九）、与某一物理量的单位连用时，表示该量的百万分之一：微米（公制长度单位，“米”的百万分之一）。